科技日报记者 李禾
中国科学院上海硅酸盐研究所曾经毅研究员团队近日研制出国产高分辩电子违散射衍射仪（EBSD）样机，这标记着我国于电子显微镜相干阐发测试仪器范畴取患上冲破，为质料科学研究及工业运用提供技能支撑。
作为扫描电子显微镜的要害附件，EBSD能于微米标准内高精度实现微区晶体学显微布局阐发。今朝，全世界仅有4家外洋公司把握该装备的制造技能。面临技能壁垒，曾经毅领导团队霸占了菊池花腔标定要领、sCMOS（科学级互补金属氧化物半导体）相机、动态真空密封等多项要害技能难题，实现了从硬件到软件的全方位立异。
于研发历程中，团队不仅从装备运用者转型为仪器研制者，还有立异性地提出“局部菊池带检测（LKBD）”要领，使平均角度误差降落了38.5%，显著提高了条带辨认精度；开发了基在“晶面间距高精度计较（偏差<5%）”的辅助标定新要领，优化了菊池极筛选计谋，将平均取向计较精度晋升50%以上……这些技能的冲破，有用保障了国产EBSD体系的正确性及靠得住性。
据团队先容，国产电子违散射衍射仪样机的研制乐成，实现了花腔标定、相鉴定、面漫衍收罗等入口装备的基本功效，有望晋升我国于高端质料表征仪器范畴的竞争力。
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